FCM 6104

全自動レーザーワェーハマーキング装置

Auto laser wafer marking system

高効率・高精度のウェーハマーキングシステム。

英文字、数字、バーコード、2Dコード、QRコードなど、色んなマークが対応できる。


       
  • 産業別

    半導体
    Semiconductor manufacturing

  • アプリ別

    ワェーハインク、マーキング
    Wafer marking

  • 材料別

    シリコンウェーハ
    Silicon(Si) , Silicon Carbide(SiC), GaAs, Sapphire, Compound wafer etc.

 


 

■ 4ー6インチのウェーハマーキングに対応

■ 高品質、高キャパ

■ 小装置体積

■ 読みやすいマーキング

■ 廃棄物スプレーが少なく、簡易な機器メンテナンス

■ 空冷レーザー

 

 

なぜフィートテックを選ぶ?

 


フィートテックはディスプレイに関する設備の研究と製造を専念し、業界をリードする研究開発力と技術力を持っています。顧客により繊細、精密な品質を提供します。


フィートテックは自社開発チームを持ち、顧客の要望より設備を調整します。例えばロボット統合、オート生産など。


フィートテック長年技術と統合の経験を持ち、オーダーメイドで設備を統合します。輸入装置より、すぐに対応することができます。

 

 

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General Specifications 

Item Specification
Class of Dust FreeCLASS 10000
Application4” 5” 6” wafer(100mm,125mm,150mm)
CassetteMax: 25 Slots
Repeatability±0.2 mm